一次進氣可同時檢測分解物、純度和水分,互不干擾
名稱
組分
參數(shù)
最小檢知量
SO2+SOF2、H2S、HF
≤0.1μL/L
CO/H2(H2為選配)
≤0.5μL/L
純度
≤0.03%
露點:阻容
≤±0.1℃
精度
測量值≤10μL/L時,誤差≤±0.5μL/L
測量值>10μL/L時,誤差≤±5%
CO/H2
測量值≤50μL/L時,誤差≤±2.0μL/L
測量值>50μL/L時,誤差≤±4%
≤±0.1 %(W/W)
≤±1℃
重 復 性
SO2 +SOF2、H2S、HF
測量值≤10μL/L時,≤0.2μL/L
測量值>10μL/L時,≤2%
測量值≤50μL/L時,≤1.5μL/L
測量值>50μL/L時,≤3%
≤0.05%(W/W)
露點:阻容
<1%(RSD)
量 程
SO2 +SOF2
0~100μL/L,0~2000μL/L
H2S
0~100μL/L
HF
0~20μL/L
0~1000μL/L
0~100%
-80℃~+20℃
氣體流量
分解物、純度
0.2±5%L/Min
水分
0.5±10%L/Min
全自動、智能化的檢漏儀
采用高性能進口紅外傳感器
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